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芯片制造关键设备再突破!离子注入机实现全谱系产品国产化

来源:新华网    更新时间:2021-03-17 12:40:07    编辑:管理员    浏览:1441

天津消防网讯 中国电子科技集团有限公司17日对外公布,该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。


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